荷兰光刻机禁令升级生效，中国只剩这一条路（组图）

荷兰政府日前宣布，从9月7日起，较先进的光刻机等设备，如果要出口到欧盟以外地区，必须获得荷兰的特别批准。9月6日，光刻机巨头阿斯麦（ASML，又译艾司摩尔）在官网发表声明称，荷兰政府公布了浸润式DUV光刻机出口新规，自9月7日起生效。

荷兰的阿斯麦是全球最先进光刻机的唯一生产厂家。早在2018年，美国就向荷兰政府施压，要求阿斯麦停止向中国出口先进光刻机。近几年，美国更是大棒挥舞，频繁以“国家安全”为由，不断收紧对华芯片出口管制措施。去年10月，美国单方面发布临时最终规则，限制阿斯麦对华出口部分光刻机。

美国一直在逼荷兰表态，荷兰政府其实一直很犹豫，但从最终结果看，胳膊拧不过大腿。虽然这次禁令也说是“ 必须获得荷兰的特别批准”，但执行上是怎么一回事，还有待揭晓。

另据彭博社等媒体报道，荷兰还计划限制阿斯麦为中国客户提供维修和维护半导体设备的服务，拒发新许可证。部分华文媒体很经常，指出这将导致中国此前购买的大批量光刻机，最快明年就可能变成“废铁”，无法运行。是否如此？

事实上，阿斯麦从今年年初开始已经有了调整。1月1日，阿斯麦发布声明称，荷兰政府已于近期部分吊销了向中国大陆出口部分芯片制造设备的许可证，涉及设备型号为NXT:2050i和NXT:2100i光刻系统。EUV光刻设备早在2019年被禁运，此次被限制出口的2050i，2100i基本上可以视作当前最先进的一批DUV光刻机型号，广泛应用于40nm以下的制程产能中，对应28nm、14nm、10nm、7nm四个主要制程节点。

如借助多重曝光等技术，具备生产7nm制程芯片的能力，理论上能够生产5nm制程芯片。过去，针对EUV的封锁，更多是“威慑意义”。现在，对这批DUV设备的禁运，起到的效果更为直观——包括成熟制程和部分先进制程在内的40nm以下的晶圆制造也被“卡脖子”。而今次意味着，ASML需要向荷兰政府申请出口许可证才能发运TWINSCANNXT:1970i和1980i DUV光刻机。

一年前，针对美日荷三国达成的限制中国先进设备出口协议，阿斯麦时任CEO温宁克（Peter Wennink）就曾在公开场合予以隐晦的否定：“你给中国施加的压力越大，他们就越有可能加倍努力打造可以媲美阿斯麦的光刻机。”而在实际行动中，基于商业的考量，阿斯麦也在努力配合中国大陆客户的要求，在禁令生效之前，努力“抢运”光刻机。

公开资料显示，仅2023年10月，中国从荷兰进口的光刻机数量就高达21台，总价值6.725亿美元，此后的11月，中国又进一步进口了42台光刻设备，总价值高达8.168亿美元。其中有16台光刻机是来自荷兰，总价值7.627亿美元。来自阿斯麦的三季度财报也显示，来自中国大陆的销售收入占比由已经从一季度的8%和二季度的24%，翻倍增长到了46%。

据了解，光刻设备作为高度客制化的机型，几乎不存在库存，按照传统惯例，厂商都是收到三四成所有的预付款才会开始动工。结合2023年下半年这么大规模的出货量来看，阿斯麦显然将光刻机产能中的很大一部分都调配给了中国客户。在后续的产品服务上，一位不愿透露姓名的消息人士表示，即便是对于已经售往中国大陆的先进光刻机，在面临美国的软件、零部件断供压力时，阿斯麦仍在尽力延长技术人员在华的停留时间，配合售后服务。

阿斯麦（ASML）光刻机的零部件高达10万个，分别来自全球超过5000家供应商（REUTERS）

不同于掌握芯片设计绝对话语权的英伟达，能以“特供AI芯片”绕开监管措施，阿斯麦光刻机的零部件高达10万个，分别来自全球超过5000家供应商，其中最核心的光源，尤其是EUV光源，几乎完全是由美国公司西盟（Cymer）所垄断，即便次一级的DUV光源，虽然日本和中国的部分企业在不懈攻关，但距离阿斯麦的标准仍有差距，这也是美国有信心展开“长臂管辖”的根源所在。从这个角度来说，伴随着新一轮禁令的落地，将中国芯片产业的发展过度押注在阿斯麦“绕开封锁”上，无疑并不现实。

比起相信恶劣的外部环境会在未来有所好转，“丢掉幻想，准备战斗”，才是国产芯片行业未来数十年的常态化主题。此前，华为旗舰Mate 60搭载麒麟9000S亮相，就曾引发外界种种猜测，各方拆解评测的结果显示其综合性能处于骁龙888（三星5nm）和骁龙8 Gen1（三星4nm）之间，和苹果A13（台积电7nm+）相仿。保守估计，国内晶圆代工产业，已经事实上具备量产等效7nm制程芯片的能力，只不过结合对市场供给的表现推断，这些先进工艺芯片的产能还在爬坡之中。

荷兰费尔德霍芬（Veldhoven），阿斯麦新任行政总裁富凯（Christophe Fouquet）。（Reuters）

阿斯麦新任CEO富凯（Christophe Fouquet） 就抱怨，美国的这种限制，完全是不明智的，而且，“施加的限制越多，就越能促使对方自力更生。”阿斯麦最担忧的，也正是这一点。

富凯的前任、前CEO温宁克就也公开表示，美国的限制，结果将适得其反，因为美国越是施加压力，中国越有可能“加倍努力”，最后，中国将独立制造出能与阿斯麦匹敌的最先进光刻机。这对阿斯麦与荷兰来说，这到底是好事还是坏事?

确实，相比于产能扩张层面的显性影响，更大的影响可能在于战略层面——先进光刻系统的禁运，将带动中国上下游产业链集体“去美化”，只是中国芯片制造业必须要把各个制程节点和产业环节“重走一遍”，因此要付出巨大的经济代价和时间成本。但中国政府和产业界都已经有充分的预期和准备。