台积电:不担心影响ASML光刻机工厂火灾 EUV产能继续推进
台积电强调,该公司的产能增长,包括EUV光刻在内的工艺都可以按计划完成,不担心ASML的履约能力。
目前台积电的7nm及以下工艺产能都需要EUV光刻机,根据财报透露的信息,在第四季度,台积电7nm制程芯片的出货量占到了总晶圆出货量的27%,而5nm制程芯片占比则为23%。
至于ASML,根据他们之前的信息,虽然评估是否影响今年的光刻机交货还有点早,但这次事件影响的主要是EUV光刻机生产,DUV光刻机不受影响。
EUV光刻机是生产7nm以下工艺的关键设备,ASML是全球唯一的EUV光刻机供应商,每台售价1亿欧元,将近10亿人民币,去年交付了35台EUV光刻机,今年计划交付55台EUV光刻机,三星、台积电及Intel是主要的客户。
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